中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

纳米加工平台是中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的四个集科研攻关与公共服务于一体的公共技术平台之一。纳米加工平台是国家微纳加工与制造产业技术创新战略联盟成员单位、中国科学院纳米器件平台、江苏省纳米加工公共服务平台、苏州市微纳器件加工及系统集成公共服务平台、苏州市微纳加工实训基地和苏州工业园区纳米技术人才实训基地。

纳米加工平台是集微纳加工、检测及封装于一体，具有先进装备与特色服务的公共开放平台。平台拥有超净实验室10000平方米，大型设备300台套，具备开展微纳电子器件、微机电系统、光电子器件、功率器件、生物芯片的科学研究和产品开发功能。平台为广大客户提供技术咨询、定制化微纳加工服务和微纳加工专业培训，可实现设备共享，允许用户独立操作和自主研发。同时，平台也搭建和企业、高校联合攻关，集“产、学、研、检”为一体的创新合作模式。

纳米加工平台的学科研究涵盖宽禁带半导体的新材料生长、工艺开发、功率器件研制、自旋电子学、二维材料异质结的纳米光/电子器件、光子芯片和先进微电子机械系统与集成等领域。平台的建设目标是助力半导体产业发展，致力于打造国际一流、集产学研于一体的微纳加工研发及服务基地。